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- 産業技術総合研究所(AIST/産総研)
- 茨城県
- 可視分光エリプソメータ 一式
入札情報
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案件公示書
- 案件概要
<装置概要> 本装置は、広範囲の膜厚(ナノメートルからマイクロメートルオーダー:1-1000 nm)を被覆される基材の組成に依存することなく、非破壊で解析することが可能な分析装置である。以上の分析を可能とするため、装置は既知の偏光状態の可視光(630nm±100nmの波長範囲)を試料表面で反射させ、その反射光の偏光の相対的な位相の変化を測定し、そのデータを元にフィッティングモデルを利用し、膜厚を算出する。このとき、入射角を変化させることで(50°~80°)、被覆させる基材の組成に依存することなく、膜厚を高精度に把握できるシステムであること。
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- 入札資格
- 全省庁統一資格
- 履行場所
説明会日
---資料交付日
2012.10.02資料等提出日
2012.10.10入札日
2012.10.18受付終了入札結果情報
結果公示日
2012.10.22落札日(契約締結日)
2012.10.19 落札情報
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落札企業情報
株式会社堀場製作所名古屋セールスオフィス
愛知県名古屋市東区葵3-15-31落札価格
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※1 税込み/税抜き等の情報については「落札情報」のリンクをご確認ください。なお、「落札情報」にて確認ができない情報については、恐れ入りますが、対象の発注機関にお問合せください。
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