入札情報

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登録日2012.09.25

可視分光エリプソメータ 一式 - 2012年09月25日登録(案件ID:2555051)

案件公示書
案件概要

<装置概要> 本装置は、広範囲の膜厚(ナノメートルからマイクロメートルオーダー:1-1000 nm)を被覆される基材の組成に依存することなく、非破壊で解析することが可能な分析装置である。以上の分析を可能とするため、装置は既知の偏光状態の可視光(630nm±100nmの波長範囲)を試料表面で反射させ、その反射光の偏光の相対的な位相の変化を測定し、そのデータを元にフィッティングモデルを利用し、膜厚を算出する。このとき、入射角を変化させることで(50°~80°)、被覆させる基材の組成に依存することなく、膜厚を高精度に把握できるシステムであること。

案件の詳細・その他資料を閉じる 6C8917C6-9F39-4600-9A61-F34A8D127718Created with sketchtool.
入札資格
業種
履行場所

説明会日

---

資料交付日

2012.10.02

資料等提出日

2012.10.10

入札日

2012.10.18受付終了

入札結果情報

結果公示日

2012.10.22

落札日(契約締結日)

2012.10.19
落札情報

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落札企業情報

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株式会社堀場製作所名古屋セールスオフィス

愛知県名古屋市東区葵3-15-31

落札価格

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