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- 炭化ケイ素エピタキシャル膜成膜装置用ドライポンプ 1式
入札情報
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登録日2014.07.02
炭化ケイ素エピタキシャル膜成膜装置用ドライポンプ 1式 - 2014年07月02日登録(案件ID:5003102)
案件公示書
- 案件概要
<概要> 炭化珪素を基板材料としたパワー半導体デバイスを用いた電力変換装置の開発に関する研究にて使用している、SiCエピタキシャル膜成膜装置(東京エレクトロン製Probus-SiC)及びドライポンプ(樫山工業製SDE300D)と接続し、SiCエピタキシャル膜成膜装置の真空ポンプ要求性能(排気速度 > 50,000[L/min],到達圧力 < 0.5[Pa])を満たすためのドライポンプである。
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- 入札資格
- 全省庁統一資格
- 履行場所
説明会日
---資料交付日
2014.07.09資料等提出日
2014.07.16入札日
2014.07.29受付終了入札結果情報
結果公示日
2014.07.31落札日(契約締結日)
2014.07.30 落札情報
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落札企業情報
株式会社巴商会
茨城県つくば市大字吉瀬字吉瀬1702-2落札価格
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※1 税込み/税抜き等の情報については「落札情報」のリンクをご確認ください。なお、「落札情報」にて確認ができない情報については、恐れ入りますが、対象の発注機関にお問合せください。
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