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- アッシング装置 他 1式
入札情報
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案件公示書
- 案件概要
<概要> 本装置は、汎用する基板サイズ(4インチシリコン等)が投入でき、十分な効率の高さとスピードでクリーニングが達成できるプラズマ発生型の反応装置である必要がある。また、反応条件は反応槽内の各種条件の微妙な変化に影響を受けるため、基板の様子を観察できる窓がついており、反応ガス流量・槽温度・プラズマ出力を人工知能的に最適化した条件で設定パラメータを確認しつつ制御できる機構を有することが必要である。
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- 入札資格
- 全省庁統一資格
- 履行場所
説明会日
---資料交付日
2014.10.21資料等提出日
2014.10.28入札日
2014.11.04受付終了入札結果情報
結果公示日
2014.11.18落札日(契約締結日)
2014.11.05 落札情報
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落札企業情報
理科研株式会社
茨城県つくば市高野台3-16-2落札価格
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※1 税込み/税抜き等の情報については「落札情報」のリンクをご確認ください。なお、「落札情報」にて確認ができない情報については、恐れ入りますが、対象の発注機関にお問合せください。
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