入札情報

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登録日2014.10.15

アッシング装置 他 1式 - 2014年10月15日登録(案件ID:5489418)

案件公示書
案件概要

<概要>  本装置は、汎用する基板サイズ(4インチシリコン等)が投入でき、十分な効率の高さとスピードでクリーニングが達成できるプラズマ発生型の反応装置である必要がある。また、反応条件は反応槽内の各種条件の微妙な変化に影響を受けるため、基板の様子を観察できる窓がついており、反応ガス流量・槽温度・プラズマ出力を人工知能的に最適化した条件で設定パラメータを確認しつつ制御できる機構を有することが必要である。

案件の詳細・その他資料を閉じる 6C8917C6-9F39-4600-9A61-F34A8D127718Created with sketchtool.
入札資格
業種
履行場所

説明会日

---

資料交付日

2014.10.21

資料等提出日

2014.10.28

入札日

2014.11.04受付終了

入札結果情報

結果公示日

2014.11.18

落札日(契約締結日)

2014.11.05
落札情報

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落札企業情報

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理科研株式会社

茨城県つくば市高野台3-16-2

落札価格

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※1 税込み/税抜き等の情報については「落札情報」のリンクをご確認ください。なお、「落札情報」にて確認ができない情報については、恐れ入りますが、対象の発注機関にお問合せください。

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※ 落札企業については、企画競争(入札・コンペ・プロポーザル)案件の場合、契約候補者や優先交渉事業者などが記載される場合がございますので、予めご了承下さい。

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