入札情報

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登録日2015.06.24

ドライエッチング装置(アプライドマテリアル社製)静電チャック交換作業 1式 - 2015年06月24日登録(案件ID:6546867)

案件公示書
詳細
案件概要

<概要>  本装置は、半導体の極微細パターン形成に専用化したメタル系および酸化膜系300mmドライエッチング装置(資産管理番号:09AB4247)である。45nmプロセスラインを構成する為に必要不可欠な研究設備である。現装置に於いて、エッチングチャンバー下部電極の静電チャック(ESC)部よりリークが発生している。  本案件は、このリーク個所の部品交換および装置復旧作業を行うものである。

案件の詳細・その他資料を閉じる 6C8917C6-9F39-4600-9A61-F34A8D127718Created with sketchtool.
入札資格
業種
履行場所

説明会日

---

資料交付日

2015.07.01

資料等提出日

2015.07.08

入札日

---受付終了

入札結果情報

結果公示日

---

落札日(契約締結日)

2015.07.10
落札情報

有料版で閲覧できます。

落札企業情報

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落札価格

有料版で閲覧できます。

落札理由

公募を実施した結果、業務等の履行可能な者が1者であり、競争を許さないことから会計規程第30条第3項に該当するため。

※1 税込み/税抜き等の情報については「落札情報」のリンクをご確認ください。なお、「落札情報」にて確認ができない情報については、恐れ入りますが、対象の発注機関にお問合せください。

※ 機関により入札結果が公開されるまでの時間が異なり、数か月に1度や年間でまとめて結果を公開する機関もあります。その為、入札結果がNJSSサイト上で閲覧できるタイミングが遅くなる可能性があります。また随意契約など入札結果のみの公示となる場合もございます。予めご了承ください。

※ 落札企業については、企画競争(入札・コンペ・プロポーザル)案件の場合、契約候補者や優先交渉事業者などが記載される場合がございますので、予めご了承下さい。

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