入札情報

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登録日2016.09.30

フォトレジスト塗布装置 1式 - 2016年09月30日登録(案件ID:8583193)

案件公示書
詳細
案件概要

<装置概要>本装置は、TSV形成位置を決めるためのフォトリソグラフィー工程で使用するフォトレジスト塗布装置であり、以下の条件を満たす必要がある。(1)76.2 mm (3インチ)径シリコンウエハ、200 mm (8インチ)径ノッチつきシリコンウエハ、300 mm (12インチ径)ノッチつきシリコンウエハに対して、フォトレジストをスピン塗布できる装置であること。(2)レジスト塗布部、制御部、薬液供給部、廃液回収部などから構成されること。(3)安全を確保するために必要なインターロックを装備していること。

案件の詳細・その他資料を閉じる 6C8917C6-9F39-4600-9A61-F34A8D127718Created with sketchtool.
入札資格
業種
履行場所

説明会日

---

資料交付日

2016.10.06

資料等提出日

2016.10.13

入札日

2016.10.24受付終了

入札結果情報

結果公示日

2016.10.28

落札日(契約締結日)

2016.10.25
落札情報

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落札企業情報

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株式会社カナメックス

神奈川県厚木市愛好3-6-17

落札価格

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※1 税込み/税抜き等の情報については「落札情報」のリンクをご確認ください。なお、「落札情報」にて確認ができない情報については、恐れ入りますが、対象の発注機関にお問合せください。

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※ 落札企業については、企画競争(入札・コンペ・プロポーザル)案件の場合、契約候補者や優先交渉事業者などが記載される場合がございますので、予めご了承下さい。

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