入札情報

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登録日2017.01.13

コータ・ディベロッパ装置 一式 - 2017年01月13日登録(案件ID:9008557)

案件公示書
詳細
案件概要

<装置概要>  本装置は、シリコン貫通電極や配線経路のパターニングに向けたフォトリソグラフィプロセスに使用し、特に厚さ20μmまでの厚膜フォトレジスト対応のシリコンウェーハへのフォトレジストのスピン塗布及びインラインで接続される露光装置による感光後の現像が連続して実行される装置である。

案件備考

競争参加に必要な書類の提出期限   平成29年2月24日 17時

案件の詳細・その他資料を閉じる 6C8917C6-9F39-4600-9A61-F34A8D127718Created with sketchtool.
入札資格
業種
履行場所

説明会日

2017.02.13

資料交付日

2017.02.13

資料等提出日

2017.02.10

入札日

2017.03.13受付終了

入札結果情報

結果公示日

2017.04.13

落札日(契約締結日)

2017.03.14
落札情報

有料版で閲覧できます。

落札企業情報

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東京エレクトロン株式会社

東京都港区赤坂5-3-1

落札価格

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※1 税込み/税抜き等の情報については「落札情報」のリンクをご確認ください。なお、「落札情報」にて確認ができない情報については、恐れ入りますが、対象の発注機関にお問合せください。

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※ 落札企業については、企画競争(入札・コンペ・プロポーザル)案件の場合、契約候補者や優先交渉事業者などが記載される場合がございますので、予めご了承下さい。

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